Substrate for semiconductor device, semiconductor device, and method for manufacturing substrate for semiconductor device

WO2018051532 Art A1 22. März 2018

Anmelder: Sanken Electric Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018051532
Aktenzeichen
EP17850442
Anmeldetag
24. Februar 2017
Veröffentlichung
22. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/338H01L21/20H01L21/205H01L29/778H01L29/812
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sanken Electric Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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