Meandering correction device, substrate processing device, and meandering correction method

WO2018051571 Art A1 22. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018051571
Aktenzeichen: EP17850478
Anmeldetag: 27. April 2017
Veröffentlichung: 22. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B65H26/00B65H23/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Verpackungs- & Fördertechnik

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