Substrate transport hand, substrate transport robot, and substrate transfer device

WO2018051921 Art A1 22. März 2018

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018051921
Aktenzeichen: EP17850823
Anmeldetag: 8. September 2017
Veröffentlichung: 22. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von