Electron microscope device and inclined hole measurement method using same

WO2018052083 Art A1 22. März 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018052083
Aktenzeichen: EP17850984
Anmeldetag: 14. September 2017
Veröffentlichung: 22. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01J37/147H01J37/22H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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