Chemical Mechanical Polishing Smart Ring

WO2018052816 Art A1 22. März 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018052816
Aktenzeichen
EP17851357
Anmeldetag
8. September 2017
Veröffentlichung
22. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/32B24B37/005B24B49/00B24B57/02H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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