Peripheral region-processing device, substrate-processing apparatus, and peripheral region-processing method

WO2018055817 Art A1 29. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018055817
Aktenzeichen: EP17852598
Anmeldetag: 3. April 2017
Veröffentlichung: 29. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/10B05C13/00B05D1/40B05D3/00G03F7/20G03F7/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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