Surface treatment composition, surface treatment method using same, and semiconductor substrate manufacturing method

WO2018055986 Art A1 29. März 2018

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018055986
Aktenzeichen: EP17852765
Anmeldetag: 28. August 2017
Veröffentlichung: 29. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C11D7/22C11D7/26C11D7/32C11D7/34C23G1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von