Compound, resin, composition, resist pattern forming method and pattern forming method

WO2018056279 Art A1 29. März 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018056279
Aktenzeichen: EP17853049
Anmeldetag: 20. September 2017
Veröffentlichung: 29. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C07D493/08C08G16/00G03F7/004G03F7/031G03F7/038G03F7/039G03F7/11G03F7/20G03F7/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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