Pitch/roll annulus gyroscope with slanted quadrature tuning electrodes and related fabrication methods

WO2018057071 Art A1 29. März 2018

Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018057071
Aktenzeichen: EP17853575
Anmeldetag: 7. Juni 2017
Veröffentlichung: 29. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/13H03H9/02H03H3/007H01L41/29H01L41/047H01L41/18H01L41/331H01L41/332G01C19/5698

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Georgia Tech Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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