Wavelength-Based Optical Filtering

WO2018057399 Art A1 29. März 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018057399
Aktenzeichen: EP17853695
Anmeldetag: 14. September 2017
Veröffentlichung: 29. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/10G02B5/18G02B5/26G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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