A substrate, a substrate holder, a substrate coating apparatus, a method for coating the substrate and a method for removing the coating

WO2018059836 Art A1 5. April 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018059836
Aktenzeichen: EP17758488
Anmeldetag: 23. August 2017
Veröffentlichung: 5. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/16B05D1/18C23C16/455H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von