Pattern evaluation device and computer program

WO2018061480 Art A1 5. April 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018061480
Aktenzeichen
EP17855438
Anmeldetag
4. August 2017
Veröffentlichung
5. April 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G06T1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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