Method for producing cationically modified silica, cationically modified silica dispersion, method for producing polishing composition using cationically modified silica, and polishing composition using cationically modified silica

WO2018061656 Art A1 5. April 2018

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018061656
Aktenzeichen
EP17855614
Anmeldetag
5. September 2017
Veröffentlichung
5. April 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C01B33/146B24B37/00C09G1/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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