Curable composition for optical nanoimprint

WO2018061822 Art A1 5. April 2018

Anmelder: San-Apro Ltd., Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018061822
Aktenzeichen: EP17855778
Anmeldetag: 15. September 2017
Veröffentlichung: 5. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027C08F2/48H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: San-Apro Ltd.
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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