Object holding device, exposure device, flat-panel display manufacturing method, device manufacturing method, and object holding method

WO2018062508 Art A1 5. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018062508
Aktenzeichen: EP17856455
Anmeldetag: 29. September 2017
Veröffentlichung: 5. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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