Apparatus and methods for reduced-arc sputtering

WO2018063865 Art A1 5. April 2018

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018063865
Aktenzeichen: EP17784445
Anmeldetag: 20. September 2017
Veröffentlichung: 5. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/34H01L21/687H01J37/32C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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