Electron beam transport system

WO2018065195 Art A1 12. April 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018065195
Aktenzeichen: EP17778209
Anmeldetag: 18. September 2017
Veröffentlichung: 12. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05H7/06H05H7/00H05H9/00G01T1/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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