Analysis device, analysis method, and program

WO2018066039 Art A1 12. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018066039
Aktenzeichen
EP16918240
Anmeldetag
3. Oktober 2016
Veröffentlichung
12. April 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C12M1/34G01N21/17G01N33/483
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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