Analysis device, analysis method, and program
WO2018066039
Art A1
12. April 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018066039
- Aktenzeichen
- EP16918240
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 12. April 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C12M1/34G01N21/17G01N33/483
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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