Pattern drawing device and pattern drawing method

WO2018066159 Art A1 12. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018066159
Aktenzeichen: EP17857999
Anmeldetag: 15. Mai 2017
Veröffentlichung: 12. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/10G02B26/12H05K3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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