Beam scanning device, pattern drawing device, and method for examining accuracy of pattern drawing device

WO2018066285 Art A1 12. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018066285
Aktenzeichen: EP17858124
Anmeldetag: 4. September 2017
Veröffentlichung: 12. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/12B23K26/00B23K26/082G02B26/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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