Phase contrast monitoring for extreme ultra-violet (euv) masks defect inspection
WO2018068030
Art A1
12. April 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018068030
- Aktenzeichen
- EP17859303
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 12. April 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/33
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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