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WO2018069015 Art A1 19. April 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018069015
Aktenzeichen: EP17771751
Anmeldetag: 21. September 2017
Veröffentlichung: 19. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/02G03F7/207G03F9/00G03F7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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