Electrolytic treatment tool, method for manufacturing electrolytic treatment tool, and electrolytic treatment device

WO2018070188 Art A1 19. April 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018070188
Aktenzeichen: EP17860695
Anmeldetag: 15. September 2017
Veröffentlichung: 19. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C25D5/00C25D7/12C25D17/08C25D17/12C25D21/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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