Cavity structure for nanoimprint lithography template and imprint forming method thereof

WO2018072624 Art A1 26. April 2018

Anmelder: Shandong University Of Science And Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018072624
Aktenzeichen: EP17861610
Anmeldetag: 11. Oktober 2017
Veröffentlichung: 26. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Shandong University Of Science And Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Shandong University of Science and Technology

Die Shandong University of Science and Technology ist eine chinesische Hochschule mit Sitz in Qingdao, deren Forschung traditionell auf Bergbau und Geotechnik ausgerichtet ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Bergbau- und Bohrtechnik, ergänzt um Software und Maschinenelemente. Anmeldungen erfolgen seit 2010 bis in die Gegenwart.

389 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von