Surface property measuring device for polishing pad

WO2018074041 Art A1 26. April 2018

Anmelder: Ebara Corporation, Kyushu Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018074041
Aktenzeichen: EP17862214
Anmeldetag: 10. August 2017
Veröffentlichung: 26. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/12B24B37/34G01B11/30H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ebara Corporation
Kyushu Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu Institute of Technology

Das Kyushu Institute of Technology ist eine japanische staatliche Technische Universität mit Standorten in Kitakyushu und Iizuka. Das Patentportfolio verteilt sich über Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Software und Medizintechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2005 bis 2025 betreffen unter anderem Potentialdifferenzmessgeräte und Farbstoff-Peptid-Komplexe.

265 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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