Microwave output device and plasma processing device

WO2018074236 Art A1 26. April 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Tokyo Keiki Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018074236
Aktenzeichen: EP17862222
Anmeldetag: 4. Oktober 2017
Veröffentlichung: 26. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Tokyo Keiki Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

Vertreten von