Etching fluid composition and etching method

WO2018074279 Art A1 26. April 2018

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018074279
Aktenzeichen: EP17861840
Anmeldetag: 10. Oktober 2017
Veröffentlichung: 26. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/308C23F1/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Adeka Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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