Spectral feature control apparatus

WO2018075246 Art A1 26. April 2018

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018075246
Aktenzeichen: EP17862581
Anmeldetag: 4. Oktober 2017
Veröffentlichung: 26. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/09G03F7/20H01S3/00H01S3/08H01S3/125H01S3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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