Measurement assembly for measuring a deposition rate, evaporation source, deposition apparatus, and method therefor

WO2018077388 Art A1 3. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018077388
Aktenzeichen: EP16787816
Anmeldetag: 25. Oktober 2016
Veröffentlichung: 3. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/12C23C14/24C23C14/54G01B7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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