Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern forming method, and electronic device manufacturing method

WO2018079449 Art A1 3. Mai 2018

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018079449
Aktenzeichen: EP17865744
Anmeldetag: 20. Oktober 2017
Veröffentlichung: 3. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038G03F7/004G03F7/039G03F7/20G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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