Method of repairing damage of gate insulator film of field effect transistor, using forward bias current

WO2018080004 Art A1 3. Mai 2018

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018080004
Aktenzeichen
EP17866041
Anmeldetag
1. September 2017
Veröffentlichung
3. Mai 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/66H01L27/02H01L29/423H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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