Method of repairing damage of gate insulator film of field effect transistor, using forward bias current
WO2018080004
Art A1
3. Mai 2018
Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018080004
- Aktenzeichen
- EP17866041
- Anmeldetag
- 1. September 2017
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/66H01L27/02H01L29/423H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Advanced Institute of Science and Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
KAIST
Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.
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