Process Module(s) Integrated Into A Metrology And/or Inspection Tool
WO2018081144
Art A1
3. Mai 2018
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018081144
- Aktenzeichen
- EP17863982
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/64G01N21/95G01N21/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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