Laterally Actuated Amplified Capacitive Vapor Sensor

WO2018081735 Art A1 3. Mai 2018

Anmelder: University of Utah Research Foundation, Mastrangelo, Carlos H., Kim, Hanseup, Likhite, Rugved 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018081735
Aktenzeichen: EP17865515
Anmeldetag: 30. Oktober 2017
Veröffentlichung: 3. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/22H01G5/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: University of Utah Research Foundation
Mastrangelo, Carlos H.
Kim, Hanseup
Likhite, Rugved
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Utah Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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