Illumination source for an inspection apparatus, inspection apparatus and inspection method

WO2018086816 Art A2 17. Mai 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018086816
Aktenzeichen: EP17780453
Anmeldetag: 12. Oktober 2017
Veröffentlichung: 17. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02F1/35G01N21/956H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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