Apparatus for combined stem and eds tomography

WO2018086853 Art A1 17. Mai 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018086853
Aktenzeichen: EP17788207
Anmeldetag: 23. Oktober 2017
Veröffentlichung: 17. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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