Maskenhalterung mit Geregelter Justiereinrichtung

WO2018086981 Art A1 17. Mai 2018

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018086981
Aktenzeichen: EP17800737
Anmeldetag: 2. November 2017
Veröffentlichung: 17. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/54C23C14/56C23C16/04C23C16/52C23C16/54H01L51/00B05C21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von