Plasma thermal spray device and thermal spray control method

WO2018088252 Art A1 17. Mai 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018088252
Aktenzeichen: EP17869305
Anmeldetag: 27. Oktober 2017
Veröffentlichung: 17. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/42C23C4/134H05H1/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von