Lithography systems with integrated metrology tools having enhanced functionalities

WO2018089076 Art A1 17. Mai 2018

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018089076
Aktenzeichen: EP17868721
Anmeldetag: 21. August 2017
Veröffentlichung: 17. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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