High Sensitivity Repeater Defect Detection
WO2018089459
Art A1
17. Mai 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018089459
- Aktenzeichen
- EP17868734
- Anmeldetag
- 8. November 2017
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95G01N21/88
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.