Radiation analysis system

WO2018091189 Art A2 24. Mai 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018091189
Aktenzeichen: EP17781447
Anmeldetag: 2. Oktober 2017
Veröffentlichung: 24. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01K17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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