Method and apparatus for applying atomic hydrogen to an object
WO2018091888
Art A1
24. Mai 2018
Anmelder: Oxford University Innovation Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018091888
- Aktenzeichen
- EP17801761
- Anmeldetag
- 15. November 2017
- Veröffentlichung
- 24. Mai 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/32H01L21/30H01L31/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Oxford University Innovation Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
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