Haloalkynyl dicobalt hexacarbonyl precursors for chemical vapor deposition of cobalt

WO2018098061 Art A1 31. Mai 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018098061
Aktenzeichen: EP17818354
Anmeldetag: 20. November 2017
Veröffentlichung: 31. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C07F15/06C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen