Cleaning compositions for removing post etch residue

WO2018098139 Art A1 31. Mai 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018098139
Aktenzeichen: EP17812162
Anmeldetag: 21. November 2017
Veröffentlichung: 31. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C11D7/32C11D3/00C11D7/36C11D11/00G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik

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