Methods for depositing flowable carbon films using hot wire chemical vapor deposition

WO2018098205 Art A1 31. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018098205
Aktenzeichen: EP17873544
Anmeldetag: 21. November 2017
Veröffentlichung: 31. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/452C23C16/26C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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