Mask blank, mask for transfer, method for manufacturing mask for transfer, and method for manufacturing semiconductor device

WO2018100958 Art A1 7. Juni 2018

Anmelder: HOYA Corporation, Hoya Electronics Singapore Pte. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018100958
Aktenzeichen: EP17875528
Anmeldetag: 1. November 2017
Veröffentlichung: 7. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/32G03F1/72H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA Corporation
Hoya Electronics Singapore Pte. Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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