Valve device, and flow control method and semiconductor manufacturing method using said valve device

WO2018100968 Art A1 7. Juni 2018

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018100968
Aktenzeichen: EP17876768
Anmeldetag: 2. November 2017
Veröffentlichung: 7. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: F16K1/00F16K7/14F16K31/122H01L21/205F16K31/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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