Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus

WO2018104039 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018104039
Aktenzeichen: EP17798250
Anmeldetag: 20. November 2017
Veröffentlichung: 14. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/47G03F1/44G01N21/95G01N21/956G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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