Method and apparatus for controlling a computing process

WO2018104073 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018104073
Aktenzeichen: EP17803953
Anmeldetag: 24. November 2017
Veröffentlichung: 14. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06F17/50G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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