Ge, sige or germanide washing method

WO2018104992 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: Interuniversity Microelectronics Centre, Kurita Water Industries Ltd. 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018104992
Aktenzeichen
EP16923243
Anmeldetag
5. Dezember 2016
Veröffentlichung
14. Juni 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Interuniversity Microelectronics Centre
Kurita Water Industries Ltd.
Land
🇧🇪 Belgien
🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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