Plasma spraying device and method for manufacturing battery electrode

WO2018105700 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018105700
Aktenzeichen
EP17877637
Anmeldetag
7. Dezember 2017
Veröffentlichung
14. Juni 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C4/08C23C4/134H01G11/86H01G13/00H01M4/04H01M4/139H05H1/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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